Woda zwiększa też głębię ostrości, czyli zakres odległości między obiektywem a miejscem, w którym obraz rzutowany na fotorezyst jest wystarczająco wyraźny. Głębia ostrości jest szczególnie ważna dla producentów, ponieważ nawet najmniejsza nierówność powierzchni podłoża może spowodować zniekształcenie obrazu. Lin swoją prezentacją wyznaczył cel: udoskonalenie istniejącej technologii. Powinno to zająć mniej czasu niż przejście na nowe urządzenia pracujące na krótszych falach, co zwykle trwa minimum 10 lat. Techniki immersyjne jednak badano sporadycznie w latach osiemdziesiątych i teraz nikt nie miał pewności, czy sprawdzą się w produkcji mikroprocesorów. Przecież woda, rozlewając się po podłożu, może spowodować NIEBEZPIECZNY MIKROPĘCHERZYK. Symulacja komputerowa, w której pęcherzyk.określa zdolność rozróżniania drobnych szczegółów.